Micro-Electro-Mechanical Systems
Micro-Electro-Mechanical Systems, skratka MEMS (slovensky mikromechanické systémy, mikromechanika), označuje mechanické a elektromechanické konštrukcie veľmi malých rozmerov (pod 1 mm), ako aj technológie používané na ich prípravu. Pre ilustráciu rozmerov typických MEMS sa často používa priemer ľudského vlasu (asi 50 μm).
Materiály a technológie
[upraviť | upraviť zdroj]Na prípravu MEMS sa využívajú technológie prevzaté z mikroelektroniky (t. j. výroby čipov):
- fotolitografia
- selektívne leptanie
- iónové odprašovanie
- selektívne nanášanie kovových a nekovových vrstiev
Podobne, aj materiály používané v MEMS sú často prevzaté z mikroelektroniky, napr. kremík, SiO2, rôzne kovy a polyméry.
Súčasné využitie
[upraviť | upraviť zdroj]- senzory
- senzory zrýchlenia použité na detekciu nárazu v automobile (iniciuje spustenie airbagu)
- vibračný gyroskop pre snímanie pohybu
- zobrazovacie prvky
- polia mikrozrkadiel
Potenciálne využitie
[upraviť | upraviť zdroj]- mikroroboty pre operácie vnútri ľudského tela (bez toho aby človek musel liezť pod skalpel - stačí keď prehltne "pilulku" a dané robotické systémy urobia všetko potrebné)
- miniatúrne motory, ktoré môžu byť použité v zabezpečovacích systémoch
- v špionážnej technike (ak sa už nevyužíva:) hlavne pre jeho malé rozmery
- demonštrácia možností:
- malé roboty menšie ako zrnko ryže
- "kolotoč" pre blchy